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常壓電漿原理、技術與應用關鍵詞

但現今發展最為成. 熟的電漿技術多在真空製程下進行，而有諸多缺點，如抽真空耗費時. 間、真空設備與維護費昂貴、物品尺寸受限於腔體大小、無法進行線. 上連續製程等。由於 ...

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