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真空應用
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真空•應用| 半導體真空設備零部件與檢漏 - 壹讀
基於實際應用, 介紹了半導體設備真空結構和真空室常用部件, ... 分析了磁控濺射台和ICP 真空故障, 採用靜壓檢漏法和He 質譜檢漏儀檢漏法, 給出了零 ...
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