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真空應用
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真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用
真空 幫浦的作用是將一特定空間之氣體分子抽. 除而達到某一壓力狀態。對於不同製程之應用來. 說,其工作壓力範圍有所不同,在選擇真空幫浦類.
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