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真空技術

真空 腔內之各種表面吸附之氣體將持續釋出，使得真空腔內. 之壓力不易下降，此釋氣為影響抽氣時間及真空腔內最終壓. 力的主要原因，因此原子及分子於表面的吸附及退附行為是.

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