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台灣光子源－ - 國家同步輻射研究中心

托爾(Torr)的超高真空度。電子軌道真空腔體採. 用鋁合金材料，可兼具低表面釋氣率、高熱導性、無殘. 留輻射、和容易加工等優越性，以滿足真空腔控制尺寸.

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