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物理蒸鍍之基礎與應用授課大綱

3. 真空度降至5.0×10-1 torr，啟動魯式幫浦，腔. 體壓力降至2.5×10-2 torr。 4. 關閉粗抽罰門。 5. 開啟Backing閥。 6. 開啟擴散幫浦，腔體壓.

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