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真空儀器測漏實務

備儀器內存有高蒸氣壓物質，當真空度達其蒸氣壓. 時，此物質即蒸發成氣體。 漏氣率通常以漏氣孔漏入氣體的氣流通量來表. 示，其單位為托耳－公升秒(Torr．L/s)。已知氣.

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