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高真空及超高真空注意事項

定義: 高真空一般指的是壓力為1E-3 torr 到1E-7 torr, 超高真空指的是壓力 ... 書比對是否影響真空度。 ... turbo pump 抽到1E-3 torr 以下就可以開始烘烤, 注意!

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