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乾式真空泵| EBARA CORPORATION

水或油不會逆流或擴散，可以獲得乾淨的真空。且無須進行水或油的補充與更換等定期維護，是使用起來十分容易的泵。是重視乾淨度的半導體機械製造工程、FPD・LED・ 太陽電池

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