... 真空的. 書比對是否影響真空度。 5. 氣體負荷: 在高真空下主要的氣體負荷為水氣, 超高真空下為氫氣, 所以要. 抽到高真空不可避免的要烘烤chamber, 尤其是當chamber 從沒 ...
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