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TONiC光學尺真空環境精準應用- 產業特刊 - 中時新聞網

另外我們開發用於半導體EUV光刻機的膜板檢測設備，由於精度要求達到ppm等級，需採用高端的RLE系列雷射尺定位系統，而Renishaw是市場少數可提供穩定效能的 ...

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