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人物報導-台灣同步輻射真空技術的發展歷程

氣壓)，TPS 真空系統的運轉性能明顯優於其它同等級的設. 施。TPS 真空系統的高頻阻抗為0.12 ... 4×10-12 torr 的真空度，劉老師也因此獲得中山科學學術. 獎的肯定。

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