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半導體與光電廠務設施

環境，作為製程機台真空設備之末端抽氣 ... 超高真空: 10-5 ~10-8Pa. ▫ 極高真空: <10-8Pa. 真空等級 ... 無脈動及噪音：真空度穩定，出口加裝消音器，噪音可完.

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