ORIENTAL MOTOR. 16 RENGA No.171 (2008). 表3 真空用步進馬達的產品種類. 真空度. 安裝尺寸. 品名. 相數. 接線方式. 對應真空度. 耐熱等級. 可熱處理溫度. 單出力軸.
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