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真空度換算micron
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工學院半導體材料與製程設備學程
接觸式曝光是指晶圓與光罩直. 接接觸,但不使用真空的方式來讓兩者之間緊密接觸在. 一起,此種方式的解析度比真空式差但比近接式好,缺. 點同樣是光罩容易受損或沾黏光阻, ...
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