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CN101034029A - 真空传感器 - Google Patents

真空传感器，涉及一种传感器，尤其是涉及一种基于微机电系统(MEMS)技术，利用硅尖阵列的场致发射原理来测量真空度大小的微型真空传感器。提供一种具有原理简单可行、受 ...

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