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乾式真空泵| EBARA CORPORATION

水或油不會逆流或擴散，可以獲得乾淨的真空。且無須進行水或油的補充 ... 相關應用. 荏原的乾式真空泵，至今為止主要是配合半導體機械製造的發展，持續進行技術革新。

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