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半導體設備行業分析報告：真空泵，國產化趨勢如何？

根據ISVT，2019 年全球真空設備的市場規模約350 億元，其中半導體用真空設備 ... 較早時，油式真空泵是半導體行業中常用的真空泵種類，目前干泵成為了 ...

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