膜片幫浦(diaphragm pump)的構造示意圖如圖3.7 所示,主要機. 構為馬達驅動的活塞造成彈性膜片的變形而達到真空抽氣的效果,通. 常會設計二級。終極壓力約可達到4mbar,此 ...
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