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真空系統的設計、腔體設計及控制與操作及軟體撰寫

使用的真空度. • Flange. • 溫度. • 腐蝕性? ... Vacuum Pumps-真空幫浦選擇. Pumping System Ranges ... 各種形式的低真空幫浦. • 薄膜幫浦.

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