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電子廠廠務真空泵變頻節能實務

(1013~1 mbar)、中度真空(1~10-3 mbar)、高真空(10-3~10-7mbar)、超高真空(壓力 ... 轉速運轉消耗大量的耗電，相對地，變頻真空泵浦（如圖1 所示）在抽氣量需求.

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