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真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用

真空幫浦 為近年來半導體及光電產業在製程上之主要設備，由於潔淨環境的要求，使得真空幫浦的應用朝向乾式真空幫浦為主，以滿足半導體光電產業之需求。

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