儲氣幫浦. 吸附. 結托. 非蒸發結托. 濺射離子. 雙極. 三級. 超低溫. 3.1 正排氣量幫浦(positive displacement pumps). 此類幫浦的抽氣原理為,被抽除的氣體從進氣口 ...
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