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半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作

貯氣式泵浦近年來發. 展迅速，幾乎所有高真空及超高真空均採用此類泵浦，新式的種類頗多，. 現僅就常用者分為下列三類介紹：. A. 化學吸附泵浦：此類泵浦的作用原理係利用 ...

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