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電子廠廠務真空泵變頻節能實務

廠務真空系統設計初以最大抽氣量需求加上備用抽氣量計算，故一般設置皆大於 ... 多台真空泵，當真空抽氣量需求變小時，逐步關掉真空泵，使系統真空壓力維持.

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