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廣域型真空計校正系統不確定度評估 - 台灣儀器科技研究中心

計算 每個校正點的擷取數據可發現，在高真空. 範圍時，系統之不確定度除以每個校正點壓力均在. 0.5% 以下，其相關數據如圖6 所示，除了在5 ¥ 10.

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