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CN1170139A - 相位光栅及其制造方法、光学编码器

本发明涉及具有近似矩形波形、用以抑制0次衍射效率的相位光栅，该相位光栅的制造方法和光学编码器，并进一步涉及使用该光学编码器的电动机和使用该电动机的机械手，尤其 ...

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