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相位光柵原理
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光栅尺的工作原理
光栅 尺的工作原理:莫尔条纹,以透射光栅为例,当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线 ... 由于位移是一个矢量,即要检测其大小,又要检测其方向,因此至少需要两路相位 ...
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