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光栅,现代光栅测量技术 - 西门子

光栅 根据形成莫尔条纹的原理不同分为几何光栅（幅值光栅）和衍射光栅（相位光栅），又可根据光路的不同分为透射光栅和反射光栅。光米级和亚微米级的光栅测量是采用几何 ...

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