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敏芯股份：高可靠性电容式MEMS麦克风在车载中的应用

采用MEMS技术制造的硅麦克风通常由两层平行板组成，一层为固态背板，一层为弹性的可移动膜片，膜片和背板形成可变电容器。膜片响应于入射的声波而 ...

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