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Cleanroom Classification Standards（無塵室分類的標準）

Fed 209. 法規. 發表. 年月. 制定或修正內容. Fed 209. 1963年. 12月. 1. 無塵室與工作站的需求及環境控制。 Fed 209A. 1966年. 8月. 1.無塵室等級分類：0.5μm Class 100、 ...

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