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領袖觀點｜新世代奈米微影製程設備發展趨勢與展望 - 機械工業網

反之而言，微影技術的演進在經濟上亦受新世代電路元件帶來的晶片微縮需求驅動 ... 奈米波段下達到接近70%反射率的效能，同時表面粗糙度必須控制在皮米 ...

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