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晶圓濕式製程中乾燥法: 未來的挑戰 - 科技產業資訊室

異丙醇 汽乾燥處理器也因嚴重的安全威脅，常需配備如CO2等昂貴的滅火 ... 量極低，這個新技術避免了安全上的危機；異丙醇濃度保持在遠低於它的燃點下。

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