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高科技行業金屬有機化合物危害調查

體電路製造使用肆二甲胺基鈦Ti[N(CH3)2]4 與肆二乙胺基鈦Ti[N(C2H5)2]4 可 ... 金屬有機氣相磊晶系統常用的反應腔形式有水平式反應腔、垂直式反應腔、.

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