矽甲烷成功量產. 2013. ISO9001/14001/50001 及OHSAS 18001 ... 產品名稱, 矽甲烷, 三氯矽烷TCS, 二氯矽烷DCS, 乙矽烷DS. 化學式, SiH₄, SiHCl₃, SiH₂Cl₂, Si₂H₆. 純度
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