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田口方法在拉球測試參數最佳化的應用- 月旦知識庫

黃士滔,郭珀菁,田口方法,直交表,拉球測試,參數,Taguchi,Orthogonal Arrays,Ball ... 的製程缺點則是工程人員的最大課題，本文將選擇半導體製程中的拉球測試作探討。

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