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瑞利还是阿贝？微光刻分辨率公式的由来和命名,Journal of ...

我们回顾了与微光刻分辨率公式有关的历史，认为是阿贝而不是瑞利首先使用与投影成像更相关的方法明确规定了最小间距的0.5λNA分辨率极限，因此， ...

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