本實驗研究利用射頻磁控濺鍍方式濺鍍氧化鋅鋁靶材,在玻璃基板上沉積摻雜鋁之氧化 ... AZO於功率50 W、壓力3mtorr、厚度200nm與氫氣熱退火溫度400℃進行90分鐘熱處理後 ...
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