蒸鍍. 物理氣相沉積法(PVD)是指利用物理方式將固體材料變成氣體並沉積在基板上,蒸鍍便是其中一種。. 透過真空幫浦使腔體達10-3~10-4 Pa的真空度,將金屬、氧化物或氟 ...
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