關鍵詞: 電漿;電弧;物理氣相沉積;缺陷;凸塊. Plasma;Arcing;PVD;Defect;Bumping. 日期: 2015. 摘要: 本論文主要以晶圓封裝廠中,於物理氣相沉積(PVD)電漿製程在晶圓上 ...
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