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電子束物理氣相沉積設備淺析 - 中國知網

【摘要】 電子束物理氣相沉積(EB-PVD)技術是由傳統電子束加工發展起來的新技術,在涂層制備,尤其是陶瓷熱障涂層(Ceramic thermal barrier coatings)TBCs的制備上具有 ...

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