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面板製程pvd

2016/03/11 ALD PVD CVD 鍍膜製程優劣比較表真空鍍膜技術比較表項目原子層沉積(ALD) 物理式真空鍍膜(PVD) 化學式真空鍍(CVD) 沉積原理表面反應-沉積蒸發-凝固氣相反應- ...

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