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物理氣相沉積 - YGPZ

物理氣相沉積 (Physical Vapor Deposition；PVD)，因此所沉積的材料純度佳且品質 ... 物理氣相沉積概觀物理氣相沉積(PVD) 設備射頻和直流源磁控濺射系統離子束沉積系統 ...

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