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半導體PVD設備龍頭打破壟斷未來國產化有望進一步提升 - 壹讀

薄膜沉積是晶圓加工中的關鍵流程之一，主要分為：物理氣相沉積PVD和化學氣相沉積CVD。 物理氣相沉積的過程中不發生化學反應，只發生物質的相變等物理變化 ...

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