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物理氣相沉積設備
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連續式-物理氣相沉積系統(In- Line Physical Vapor Deposition)
2021年9月8日 — 設備原理: 連續式物理氣相沉積系統裝配三支六吋靶槍,並使用一支六吋直流電源離子槍作為輔助沉積,本系統以兩台脈衝直流電源與一台射頻電源來提供三 ...
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