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矽薄膜太陽能電池電漿輔助化學氣相沉積本質 - CHUR

矽薄膜太陽能電池製造過程中Physical Vapor Deposition(PVD)與Chemical. Vapor Deposition(CVD)，如圖2-5 為最主要之真空設備，其中PVD 主要用以濺. 鍍Metal layer 與透明 ...

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