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PVD真空物理氣相沉積的用途

物理氣相沉積 (Physical Vapor Deposition；PVD)，意指在真空條件下，用物理的方法將蒸發源材料蒸發，如加熱、電子束、離子束、濺射、電弧等，使材料蒸發後， ...

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