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物理氣相沉積設備
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現代PVD表面工程技術及應用 - 博客來
系統、全面地闡述了PVD(物理氣相沉積)塗層的發展歷史、技術原理、工藝流程及工程應用。 ... 1.1.3 現代塗層設備 1.2 PVD塗層技術的研究概述
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