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物理氣相沉積設備
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物理氣相沉積電漿電弧之改善研究__臺灣博碩士論文知識加值系統
本論文主要以晶圓封裝廠中,於物理氣相沉積(PVD)電漿製程在晶圓上沉積金屬層時所造成的電漿電弧(Arcing)缺陷實際問題去做改善的研究。因電弧缺陷會造成後段檢驗過程中 ...
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