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物理氣相沈積法（Physical Vapor Deposition，PVD） - 科學 ...

物理氣相沉積 法是利用高溫熱源將原料加熱至高溫，使之氣化或形成等離子體，然後在基體上冷卻凝聚成各種形態的材料（如單晶、薄膜、晶粒等）。所用的高溫 ...

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